فشار سیالات در هنگام عبوراز لوله ها کاهش می یابد. برای کاهش افت فشار از فلوکنترلر Brooks سری GF100 و دیگر فلوکنترلرهای گازی استفاده می شود. فلوکنترلرهای جرمی، زیرمجموعه ای از تجهیزات ابزار دقیق می باشند که برای اندازه گیری و کنترل جریان در فرایندها استفاده می شوند.
مزایای مس فلوکنترلر بروکس سری GF100
علاوه بر بازده بالا، قابل اعتماد بودن و قابلیت انطباق آن با شرایط مختلف، از مزایای دیگر این دستگاهابزار دقیق پیشرو در صنعت می توان به موارد زیر اشاره کرد:
- تنظیمات فوق سریع ۳۰۰ میلی ثانیه ای،
- قابلیت برنامه ریزی گاز و برد MultiFlo،
- حساسیت اختیاری به فشار گذرا،
- نمایش منطقه ای،
- سطح خیس شده بسیار کم
- سنسور Hastelloy مقاوم در برابر خوردگی برای محل قرارگیری اتصالات.
دستگاه GF120XSD زیرمجموعه ای از فلوکنترلر حرارتی سری GF100 بروکس میباشد و برای فشارهای بسیار کم و انتقال دقیق جریانات فشار ضعیف استفاده می شود.
فلوکنترلر بروکس brooks – کنترل افت فشار
سنسور کنترل کننده جریان سیالات
مهمترین بخش یک فلوکنترلر، سنسور جریان آن است که مانند شکل زیر از یک سیم پیچ نازک بر روی یک لوله مویرگی بسیار نازک با قطر داخلی حدودا 250 میکرومتر تشکیل شده است که از دو سر و وسط سیم پیچ، سه خروجی گرفته شده است
با عبور جریان از لوله بسیار نازک سنسور، دمای سیم پیچ اول در راستای لوله به دومی انتقال یابد و مقاومت سیم پیچ ها تغییر میکند. این تغییر مقاومت، معیاری از مقدار جریان سیال است. در اطراف سنسور، عایقی قرار دارد تا علاوه بر کنترل حرارت سیم پیچ، مانع تاثیر نوسانات حرارت محیط بیرون بر روی سنسور شود.
اجزای داخلی یک دستگاه کنترل کننده جریان سیالات
در تولیدات میکروالکترونیکی، انواع بسیار گسترده ای از گازها مورد استفاده قرار می‌گیرند از جمله گازهای سمی که برای implant و deposition استفاده می شوند. برای رعایت امنیت این گازها معمولا در سیلندر های خاص قرار داده می شوند که می توانند مقادیر زیادی از این گازها را در فشار کمتر از جو ذخیره کنند. این کار عمل انتقال، کنترل و رساندن گاز را ساده تر کرده اما برای فلوکنترلرهایی که برای کنترل جریان در محفظه فرآیند استفاده می شوند، مشکلاتی به وجود می آورد. با مصرف شدن گاز، فشار کاهش پیدا کرده که باعث بروز مشکلاتی برای فلوکنترلرهای سنتی که فشار دیفرانسیلی بالایی برای جریان دادن گاز نیاز دارند، می شود.
دستگاه GF120XSD دارای یک سنسور جریان حرارتی با افت فشار کم و قطر لوله بزرگ می باشد.
با بالا رفتن رسانایی سنسور جریان، فشار کمتری برای جدا کردن گاز نمونه برای اندازه‌گیری نیاز است. با ترکیب این دستگاه با یک شیر کنترل دقیق، برای کم کردن میزان افت فشار، دستگاه GF120XSD میتواند جریان را با دقت یک صدم اتمسفر فشار ورودی کنترل کند.
نحوه عملکرد یک دستگاه مس فلو کنترلر
این عملیات باعث می شود بتوان از۹۰% گازهای مخصوص فرآیند فشار ضعیف بهره برد که به معنی بیش از ۴۰% ارتقاء نسبت به کنترلرهای متداول جریان است.
در ارزیابی اخیر OEM، دستگاه GF120XSD را به عنوان دقیقترین و پایدارترین فلوکنترلر در فشارهای ضعیف، معرفی کرده است که با کم کردن چند ثانیه از مدت زمان پایدارسازی جریان در مقایسه با نسل قبلی فلوکنترلرهای فشار ضعیف Brooks توانست راندمان استفاده از گاز را بیش از پیش ارتقاء بخشد.
